近年来，MEMS（微机电系统，Micro-Electro-Mechanical System）成为了半导体行业中最为火热的概念。小到TWS耳机一次简单的双击操作，大到智能汽车的碰撞保护，都离不开MEMS的应用。MEMS广泛应用于电子产品、汽车、医疗以及工业领域。根据Yole Developpement 的数据，2020 年全球 MEMS 市场价值 120.5 亿美元，预计到 2026 年将达到182.6亿美元，年增长率为7.2%。

MEMS主要应用场景

如今可穿戴智能设备已经逐步普及，像是生活中常见的智能手表，之所以能够每天监测自己是否完成了锻炼目标，就是依靠MEMS实时监测加速度的变化，从而获知佩戴者运动的状态。运动时加速度计MEMS检测到一个周期性的正弦波，通过计算波峰、波谷的数量，就知道佩戴者每天运动的步数是否达标。

在汽车领域，加速度计MEMS可以用于检测意外的冲击。比如电动车遭遇碰撞，加速度计MEMS可以检测碰撞时的G值，来判断碰撞的严重程度，以提供数据给车机进行判断，是否需要立刻对电池降温保护，是否需要进行维护，或者是不用理会直接可以继续使用。

而在医疗领域，像是地铁站、商场常见的AED除颤仪，需要检测按压胸腔时的力度，同时需要尽可能长时间的续航表现，那么配备一个加速度计MEMS自然是非常合适的选择。

除此之外，加速度计MEMS还可以实现很多辅助性的工作。像是很多电子设备平时只需要为加速度计MEMS保留一个很小的供电，就可以让大部分系统保持待机状态，最大程度上实现节能的效果。

新款ADXL367对比老款ADXL362

针对产业智能化不断增加需求，ADI MEMS于8月29日推出了全新一代加速度传感器——ADXL367，各项指标均有提升的前提下，新增支持了I²C数字接口，面积降低了47%，高度减小了20%，采用最常见的CR2032纽扣电池供电情况下，在低功耗模式下可实现29年的续航表现，检测模式下可实现143年的续航表现。

针对汽车市场，ADI推出了车规级低功耗大量程加速度计ADXL314，其工作范围为–40°C至+125°C，量程为200g，工作电流50μA/170μA(低/高数据速率)，可实现高达3200Hz输出数据速率，可应用于胎压监测、电动车电池监测、碰撞检测EDR。

在谈到智能化的趋势时，ADI亚太区微机电产品线总监赵延辉认为所有的传感器会越来越智能化，即intelligent edge (智能边缘)，这是不可逆的趋势。但一定不是为了智能而智能，而是需要了解客户的痛点是什么，再通过一些数字化的功能去解决它，而不是简单地堆砌。

新款ADXL367体积下降明显

具体案例方面，像是此次发布的ADXL367就集成了智能化的功能。对于TWS真无线的耳机，ADXL367就集成了单击、双击的监测算法，不需要客户（TWS厂商）去做算法分析，MEMS通过判断输出波形来确定用户是不是在做一个或者双击的动作，从而解放TWS中央处理器的计算压力。

早在上世纪90年代，MEMS就已经取代了机械式碰撞传感器，成为了绝大多数汽车安全气囊的首选方案。随着电子设备的随身化、汽车的智能化以及各个产业的智能升级，MEMS也将获得持续向上发展的空间。（本文首发钛媒体App，作者/吴泓磊，编辑/钟毅）